https://e-news24.ru/2023/11/16/kompleks-iz-dvyh-ystanovok-ychenyi-o-sozdannom-v-rf-oborydovanii-dlia-vypyska-primeniaemyh-v-elektronike-nanostryktyr/
«Комплекс из двух установок»: учёный — о созданном в РФ оборудовании для выпуска применяемых в электронике наноструктур