HPSP vs 예스티 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허분쟁 핵심 정리
2026.06.18

──────────

1. 오늘 판결 결과
① 특허법원, HPSP '027 특허(챔버 개폐장치) 유효 + 예스티 비침해 동시 판결
② 양측 심결취소소송 3건 모두 기각 = 예스티 우세 확정
③ '027 특허는 정정심판으로 권리범위 이미 축소 = 유효하나 실질 공격력 약화
④ 두 번째 침해소송 핵심 303 특허(고압가스 열처리)는 특허심판원서 무효 판단 → HPSP 특허법원 불복 진행 중

──────────

2. 비침해 판정의 기술적 배경 — 챔버 구조 차이

반도체 fab 천고(층고) 고정 → 한계 내 웨이퍼 처리 매수 = 생산성(WPH) 직결

| 구분 | HPSP | 예스티 |
| 천고 조건 | 3.8m (한계) | 4.2m 확보 |
| 챔버 위치 | 최상단 고정 | 중간 배치 |
| 카세트 적재 | 25매 × 3단 = 75매 | 25매 × 5단 = 125매 |
| 로딩 방식 | 하부에서 위로 | 엘리베이터 방식(내부 승강) |
| 생산성 | 기준 | WPH 기준 약 70% 우위 |

HPSP가 125매로 확장 못 하는 이유
① 위로 확장 → 천고 초과 + PM 작업 공간 침범 = 불가
② 아래로 확장 → 예스티 특허(중간 배치 + 엘리베이터 구조) 침해 위험
③ 설계 전면 변경 → A-Z 재평가에 수년 소요
→ 현재 구조에서 125매 구현 사실상 불가

──────────

3. 특허 회피 + 생산성 우위의 연결고리
① HPSP '027 특허 = "챔버 개폐장치" 관련
② 예스티, 중간 배치 + 엘리베이터 방식으로 완전히 다른 구조 채택 → 침해 요소 없음
③ HPSP가 정정심판으로 권리범위 축소한 것 자체가 구조 차이를 커버 못 했음을 방증

──────────

4. 결론
예스티는 특허 분쟁 회피 + 생산성 우위(WPH +70%)를 동시에 달성하는 구조 설계. 단순히 소송에서 이긴 것이 아니라 기술 경쟁력 자체가 앞선다는 함의. HPSP는 303 특허 무효 판단까지 더해지며 특허 공격력 전방위 약화 국면

#HPSP, #예스티, #HPA, #고압수소어닐링, #반도체장비, #특허분쟁