Forwarded from 강해령의 반도체탐구생활
삼성전자 High-NA EUV 동향에 대해 취재했습니다. 요약드리면,
-이르면 연말, 내년 1분기 내 ASML EXE:5000 첫 반입 시작.
-내년 상반기 설치 완료, 레이저텍 High-NA 검사장비도 내년 가을께 반입.
-시높시스와 High-NA 곡선형(Curvilinear) 회로 개발 중.
-SK하이닉스는 ASML 차기작인 EXE:5200부터 반입할 듯.
#High_NA #EUV #삼성전자 #EXE_5000
https://n.news.naver.com/mnews/article/011/0004379802?sid=101
-이르면 연말, 내년 1분기 내 ASML EXE:5000 첫 반입 시작.
-내년 상반기 설치 완료, 레이저텍 High-NA 검사장비도 내년 가을께 반입.
-시높시스와 High-NA 곡선형(Curvilinear) 회로 개발 중.
-SK하이닉스는 ASML 차기작인 EXE:5200부터 반입할 듯.
#High_NA #EUV #삼성전자 #EXE_5000
https://n.news.naver.com/mnews/article/011/0004379802?sid=101
Naver
삼성, 연말 High-NA EUV 1호기 반입…생태계 구축에도 속도 [강해령의 하이엔드 테크]
삼성전자 반도체(DS)부문이 하이(High)-NA 극자외선(EUV) 장비를 이르면 연말부터 반입합니다. 차세대 노광장비 외에도 하이-NA용 마스크를 검사할 수 있는 장비까지 개발하고 있습니다. 인텔·TSMC 등 세계