삼성전자가 10㎚(나노미터·10억 분의 1ｍ) 이하의 초미세공정을 위한 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광장비 약 20대를 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML에 발주한 것으로 파악됐다. 심자외선(DUV) 장비까지 포함하면 노광장비의 발주 규모만 총 70여 대에 달한다. 삼성전자는 압도적인 숫자의 노광장비를 갖춰 SK하이닉스와 마이크론 등 경쟁사 대비 초미세