Forwarded from 강해령의 반도체탐구생활
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삼성전자 High-NA EUV 동향에 대해 취재했습니다. 요약드리면,
-이르면 연말, 내년 1분기 내 ASML EXE:5000 첫 반입 시작.
-내년 상반기 설치 완료, 레이저텍 High-NA 검사장비도 내년 가을께 반입.
-시높시스와 High-NA 곡선형(Curvilinear) 회로 개발 중.
-SK하이닉스는 ASML 차기작인 EXE:5200부터 반입할 듯.
#High_NA #EUV #삼성전자 #EXE_5000
https://n.news.naver.com/mnews/article/011/0004379802?sid=101
-이르면 연말, 내년 1분기 내 ASML EXE:5000 첫 반입 시작.
-내년 상반기 설치 완료, 레이저텍 High-NA 검사장비도 내년 가을께 반입.
-시높시스와 High-NA 곡선형(Curvilinear) 회로 개발 중.
-SK하이닉스는 ASML 차기작인 EXE:5200부터 반입할 듯.
#High_NA #EUV #삼성전자 #EXE_5000
https://n.news.naver.com/mnews/article/011/0004379802?sid=101
Naver
삼성, 연말 High-NA EUV 1호기 반입…생태계 구축에도 속도 [강해령의 하이엔드 테크]
삼성전자 반도체(DS)부문이 하이(High)-NA 극자외선(EUV) 장비를 이르면 연말부터 반입합니다. 차세대 노광장비 외에도 하이-NA용 마스크를 검사할 수 있는 장비까지 개발하고 있습니다. 인텔·TSMC 등 세계
#High-NA #삼성전자 #CNT펠리클 #에프에스티
안 씌우곤 못 배기겠군
https://v.daum.net/v/20260811141736857
안 씌우곤 못 배기겠군
박 마스터는 "2나노, 1.4나노 등에서 High-NA EUV를 양산 적용하고 싶었으나 아직은 기술적 보완이 필요한 상황"이라며 "A10 이하부터 High-NA EUV가 필요할 것으로 보고, 다양한 협력사들과 공동 개발을 진행하고 있다"고 설명했다.
이를 고려한 삼성전자의 High-NA EUV 양산 적용 시점은 오는 2030년께로 관측된다. 삼성전자는 현재 2나노 공정까지 상용화에 성공해, 오는 2029년 1.4나노(SF1.4) 공정을 양산할 계획이다. 2030년에는 1.4나노의 개선 버전인 SF1.4+과 1나노 공정 양산에 나설 것으로 알려졌다.
https://v.daum.net/v/20260811141736857
Daum | 지디넷코리아
삼성전자, 1나노부터 고개구율 EUV 기술 적용
(지디넷코리아=장경윤 기자)삼성전자가 이르면 오는 2030년께 상용화될 1나노미터(nm) 공정부터 노광 기술 혁신에 나선다. 차세대 극자외선(EUV) 기술인 '고개구율(High-NA) EUV'를 1나노에 양산 적용할 계획으로, 현재 상용화를 위한 기술 개발에 집중하고 있다. 박창민 삼성전자 마스터는 11일 경기 수원컨벤션센터에서 열린 '2026 차세대 리